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Datenblatt
L-9517-9531-01-D
™
Mess-System
UHV absolutes optisches
• Saubere RGA
• Niedrige Ausgasrate
•Ausbacktemperatur
von 120 °C
• Absolutes, berührungsloses,
optisches Mess-System:
keine Batterien erforderlich
• Großzügige Einstelltoleranzen
sorgen für eine schnelle und
einfache Installation
• Auflösung bis 1 nm oder
32 Bit rotativ
• 100 m/s max. Umfangsgeschwindigkeit für alle
Auflösungen (bis 36.000 min-1)
• Nominelle Teilungsperiode
30 µm gewährleistet außergewöhnliche Gleichlaufgüte
• ± 40 nm zyklischer Fehler
für eine gleichförmige
Geschwindigkeitsregelung
• Weniger als 10 nm RMS
Jitter für eine verbesserte
Positionsstabilität
Das
UHV System bietet alle Vorteile der
bewährten RESOLUTE Weg- und Winkelmess-Systeme
in einem Abtastkopf, der unter Verwendung von UHVtauglichen Materialien und Prozessen konzipiert und
gefertigt wurde.
bestimmt die Position sofort nach dem Einschalten, ohne jegliche
Bewegung oder Pufferbatterien. Hierdurch wird eine sichere Kontrolle der Achse
erreicht und das Risiko von unkontrollierten Bewegungen und Kollisionen
eliminiert - entscheidende Vorteile an sensiblen Achsen.
bietet einen sehr geringen zyklischen Fehler (SDE), wodurch die
Regelgüte wesentlich verbessert werden kann. Dies hat mehrere Vorteile, u.a. höhere
Gleichlaufgüte, reduzierte Vibration und eine geringere Verlustleistung im Motor.
Zudem bietet
ein niedriges Positionsrauschen (Jitter) von weniger als
10 nm RMS, d. h. die Positionsstabilität wird deutlich verbessert. Diese einzigartige
Technologie verbindet eine 1 nm Auflösung linear bzw. 32-Bit rotativ mit extrem hohen
Geschwindigkeiten bis zu 100 m/s (36 000 min-1).
Für dieses Mess-System stehen verschiedene lineare und rotative Maßverkörperungen
zur Verfügung. Lineare Maßbandoptionen reichen von RTLA Maßbändern mit schneller
und einfacher Installation und einer beeindruckenden Genauigkeit von ±5 µm/m bis
hin zu RELA ZeroMet™ Maßstäben mit einer sehr geringen thermischen Ausdehnung
und einer zertifizierten Genauigkeit besser als ±1 µm. Rotative Maßbandoptionen sind
u.a. RESA Ringe mit dünnen Querschnitten und einfacher Konusmontage sowie die
hochgenauen REXA Ringe, die mit zwei Abtastköpfen eingesetzt werden, um eine
installierte Gesamtgenauigkeit von weniger als ±1 Winkelsekunde ohne jede
mechanische Hysterese zu erreichen.
Für eine hervorragende Rauschunempfindlichkeit ist
UHV mit einer
Reihe serieller Protokolle erhältlich, einschließlich BiSS ® C, Mitsubishi und Panasonic.
• Spezielle Prüfalgorithmen
bieten inhärente Sicherheit
• Integrierte Einstell-LED sorgt
für eine einfache Installation
und Diagnose
• Arbeitstemperatur bis zu 75 °C
• Integrierte Temperaturüberwachung
• Verschiedene serielle Protokolle
erhältlich. Weitere Informationen
erhalten Sie bei Ihrer
Renishaw-Niederlassung
Kompatibel mit:
• RELA hochgenauer
Maßstab mit sehr geringem
Ausdehnungskoeffizient
• RSLA Edelstahlmaßstäbe
• FASTRACK TM mit RTLA
• RTLA-S selbstklebendes
Edelstahlmaßband
• RESA Winkelmess-Systeme
•Höchstpräzise
WinkelmessSysteme
REXA
Datenblatt
RESOLUTE UHV absolutes optisches Mess-System
Das System bietet:
Einzigartiges einspuriges, absolutes optisches Maßband
u
Die Absolutposition wird sofort beim Einschalten festgestellt
u
Keine Batterien erforderlich
u
Viel höhere Toleranz gegenüber Gierwinkelabweichungen
als Zweispur-Systeme
u
Beste Regelgüte durch feinste optische Teilungsperiode
u
Hervorragende Messleistung und Zuverlässigkeit
Einzigartige Erkennungsmethode
Angebot an Maßstäben und
Winkelmess-Systemen
u
u
u
Hochgenaue RELA-Maßstäbe aus Nickel-Eisen
Legierung mit einer hohen Stabilität und minimalen
thermischen Ausdehnung sowie einer Genauigkeit
von ±1 µm sind bis zu einer Länge von 1130 mm
erhältlich
Robuster RSLA-Edelstahlmaßstab, bietet eine
bessere Genauigkeit als Glasmaßstäbe und Längen
bis zu 5 m; eine Genauigkeit von ±4 μm kann über
eine Länge von 5 m erreicht werden
FASTRACK mit RTLA-Maßband und RTLA-S
selbstklebendes Maßband für schnelle und einfache
Installation, mit einer Genauigkeit von ±5 μm/m
u
Der RESA-Ring mit einzigartiger Konusmontage
bietet einen großen Durchlass für eine einfache
Integration
u
Höchstpräziser REXA-Ring mit einer installierten
Gesamtgenauigkeit von ±1 Winkelsekunde bei
Verwendung von zwei Abtastköpfen
u
Der Abtastkopf verhält sich wie eine extrem
schnelle CCD-Kamera und fotografiert das
codierte Maßband
u
Zur Bestimmung der Absolutposition werden
die Fotos über ein Hochgeschwindigkeits-DSP
analysiert
u
Ein eingebauter Algorithmus zur Überprüfung der
Position überwacht permanent die Berechnungen
für eine optimale Sicherheit und Zuverlässigkeit
u
Filteroptiken und Erkennungsalgorithmen
wurden konzipiert, um geringes Rauschen
(Jitter < 10 nm RMS) und einen geringen
zyklischen Fehler (SDE ±40 nm) zu erzielen
Verfügbare Protokolle und Auflösungen
Protokoll
Auflösungen
Linear
Rotativ
BiSS C
50 nm
5 nm
1 nm
18 Bit
26 Bit
32 Bit
Panasonic
100 nm
50 nm
1 nm
–
–
–
Weitere serielle Protokolle sind erhältlich.
Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte
an Ihre Renishaw-Niederlassung.
Datenblatt
RESOLUTE UHV absolutes optisches Mess-System
Lineares absolutes Wegmess-System
Auflösungen und Maßbandlängen
RESOLUTE mit BiSS-C (unidirektional)
RESOLUTE mit BiSS-C (unidirektional) Protokoll ist mit drei Positionswortlängen erhältlich: 36-Bit, 32-Bit und 26-Bit.
Die maximale Maßbandlänge entspricht dem Produkt aus Auflösung des Abtastkopfes und der Anzahl der Positionsbits
im seriellen Wort.
Kürzere Wortlängen mit feinen Auflösungen begrenzen die max. Maßbandlänge.
Umgekehrt können längere Maßbänder bei einer niedrigeren Auflösung bzw. größeren Wortlänge verwendet werden.
Das 36-Bit und 32-Bit Positionswort ermöglichen größere Verfahrlängen, was insbesondere bei höheren Auflösungen
von deutlichem Vorteil ist.
1 (nm)
5 (nm)
50 (nm)
Max. Maßbandlänge mit 36-Bit Positionswort
10 m
10 m
10 m
Max. Maßbandlänge mit 32-Bit Positionswort
4,295 m
10 m
10 m
Max. Maßbandlänge mit 26-Bit Positionswort
67 mm
336 mm
3,355 m
Max. Lesegeschwindigkeit
100 m/s
100 m/s
100 m/s
Auflösung
RESOLUTE mit Panasonic
RESOLUTE mit serieller Panasonic Schnittstelle ist wahlweise in Auflösungen von 1 nm, 50 nm oder 100 nm erhältlich.
Die maximale Verfahrgeschwindigkeit beträgt 40 m/s.
Die maximale Maßbandlänge entspricht den nachstehend aufgeführten technischen Daten zum Maßband.
Für Informationen über weitere serielle Protokolle wenden Sie sich bitte an Ihre Renishaw-Niederlassung.
Maßband - Spezifikationen
Ausführlichere Informationen über Maßstäbe erhalten Sie im jeweiligen Datenblatt.
Beschreibung
RELA
Hochgenauer Maßstab mit sehr geringem Ausdehnungskoeffizient
für höchstpräzise Anwendungen.
Längen bis zu 1130 mm.
RSLA
Leistungsstarke Edelstahl-Maßstäbe für hochpräzise Anwendungen
mit längeren Achsenlängen.
Längen bis zu 5 m.
FASTRACK/RTLA
Schienenmontiertes Maßband aus vergütetem Edelstahl für Regelkreise
aus dem Hochleistungsspektrum, die eine einfachere und schnellere
Maßbandinstallation und Austausch vor Ort benötigen.
RTLA Längen bis zu 10 m, FASTRACK Längen bis zu 25 m.
RTLA-S Selbstklebendes Maßband aus vergütetem Edelstahl für Regelkreise
aus dem Hochleistungsspektrum, bei denen es auf eine besonders
einfache Installation ankommt.
Längen bis zu 5 m.
Genauigkeit
±1 µm bis zu 1130 mm bei 20 °C
RELA RSLA
±1,5 µm bis zu 1 m bei 20 °C
±2,25 µm bis zu 2 m bei 20 °C
±3 µm bis zu 3 m bei 20 °C
±4 µm bis zu 5 m bei 20 °C
±5 µm/m bei 20 °C
±5 µm/m bei 20 °C
RTLA
RTLA-S
Thermischer
RELA
Ausdehnungskoeffizient
~ 0,6 µm/m/°C (0 °C bis 30 °C)
<1,4 µm/m/°C (30 °C bis 100 °C)
RSLA
~10,8 µm/m/°C
FASTRACK /RTLA
1 0 , 6 µm/m/ ° C
RTLA-S
1 0 , 6 µm/m/° C
Datenblatt
RESOLUTE UHV absolutes optisches Mess-System
Absolutes Winkelmess-System
Auflösung
RESOLUTE ist mit verschiedenen Auflösungen erhältlich, um den unterschiedlichsten Anwendungen gerecht zu werden.
Die Wahl der Auflösung hängt vom verwendeten seriellen Protokoll ab. Aufgrund der Ringgröße bestehen keinerlei
Einschränkungen, beispielsweise ist eine BiSS 26-Bit Auflösung und Mitsubishi 27-Bit Auflösung für alle Ringgrößen erhältlich.
BiSS RESOLUTE Auflösungen erhältlich:
18-Bit (262 144 Impulse pro Umdrehung, ≈ 4,94 Winkelsekunden)
26-Bit (67 108 864 Impulse pro Umdrehung, ≈ 0,019 Winkelsekunden)
32-Bit (4 294 967 296 Impulse pro Umdrehung, ≈ 0,00030 Winkelsekunden)
Bitte beachten Sie, dass die 32-Bit Auflösung unterhalb des Grundrauschens der RESOLUTE Mess-Systeme liegt.
Geschwindigkeit und Genauigkeit
RESA Durchmesser
(mm)
Max. Lesegeschwindigkeit
(min-1)
Systemgenauigkeit
(Winkelsekunden)
52
36 000
±5,49
57
33 000
±4,89
75
25 000
±3,82
100
19 000
±2,86
103
18 500
±2,72
104
18 000
±2,69
115
16 500
± 2,44
150
12 000
±1,91
200
9 500
±1,43
206
9 200
±1,42
209
9 000
±1,4
229
8 300
±1,27
255
7 400
±1,11
300
6 300
±0,95
350
5 400
± 0,82
413
4 600
±0,69
417
4 500
±0,68
489
3 900
±0,59
550
3 400
±0,52
Die Systemgenauigkeit ist die Teilungsgenauigkeit plus dem kurzwelligen Fehler
des Abtastkopfes.Effekte wie Exzentrizität
beeinflussen die Leistungsfähigkeit des
Systems; für Rat zu Ihrem speziellen
Anwendungsfall wenden Sie sich bitte an
Ihren Lieferanten.
Achtung: Bei Bewegungsachsen mit sehr
hoher Geschwindigkeit müssen zusätzliche
Erwägungen, in Bezug auf die Konstruktion,
in Betracht gezogen werden.
Bei Anwendungen, die 50% der max.
Lesegeschwindigkeit überschreiten, wenden
Sie sich für weitere Informationen bitte an
Ihre Renishaw-Niederlassung.
Daten für Geschwindigkeit und Genauigkeit
von REXA Systemen entnehmen Sie bitte dem
REXA Datenblatt.
Allgemeine Spezifikationen (Weg- und Winkelmess-System)
Spannungsversorgung
Zulässige
Temperaturbereiche
5 V ±10% max. 1,25 W (250 mA @ 5 V)
HINWEIS: Die Stromaufnahme bezieht sich auf RESOLUTE-Systeme mit
Abschlusswiderstand. Wegmess-Systeme von Renishaw müssen durch eine
5 V DC Spannungsquelle versorgt werden, entsprechend den Bestimmungen
EN (IEC) 60950 für SELV-Stromkreise.
Restwelligkeit <200 mVss bei Frequenzen bis max. 500 kHz
Lagerung 0 °C bis +80 °C
Betrieb 0 °C bis +75 °C
Ausbacken (Nicht im Betrieb) 120 °C
Luftfeuchtigkeit
Schutzklasse
Beschleunigung (Abtastkopf)
Schock (Abtastkopf)
Maximale Maßstabsbeschleunigung
der Maßverkörperung gegen
den Abtastkopf
Vibration
Masse
EMV-Konformität
Kabel
Max. 95% relative Luftfeuchtigkeit bei +40° C (nicht kondensierend)
IP30
Betrieb 500 m/s² BS EN 60068-2-7:1993
Nicht im Betrieb 1000 m/s², 6 ms, ½ Sinus
BS EN 60068-2-27:2009
BiSS und Panasonic - 2000 m/s2
HINWEIS: Dieser Wert gilt für die geringsteTaktrate. Bei schnelleren Taktraten
kann mdie maximale Maßstabbeschleunigung gegen den Abtastkopf höher sein.
Für weitere Einzelheiten wenden Sie sich bitte an Ihre Renishaw-Niederlassung.
Betrieb Max. 100 m/s² bei 55 Hz bis 2000 Hz BS EN 60068-2-6:1996
Willkürliche Schwingungen 0,15 g2/Hz ASD 20 -1000 Hz, -6dB Rollen von 1-2 kHz
Abtastkopf
Kabel
19 g
19 g/m
BS EN 61326-1: 2006
Versilbertes Kupfergeflecht
FEP isolierte Adern, über verzinnten Kupferadern
Datenblatt
RESOLUTE UHV absolutes optisches Mess-System
RGA-Ergebnisse
Testablauf
Ein auf einen Scanbereich von 200AMU eingestelltes Quadrupol-Massenspektrometer (AccuQuad 200 RGA), wurde verwendet, um RGA(Restgasanalyse) Daten zu erfassen und den Gesamtkammerdruck zu messen. Nach der anfänglichen Voreinstellung des Systems wurde ein
Hintergrundspektrum zusammen mit dem Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet.
Die Komponente wurde in die Vakuumkammer (0,0035 m3) gesetzt und das System wurde dann mithilfe einer Dioden-/Ionenpumpe des Typs
KJL Lion 802 (800/s) und einer Membranpumpe des Typs Divac bei Raumtemperatur 24 Stunden lang ausgepumpt, woraufhin erneut eine
Hintergrundabtastung durchgeführt und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurde. War der Systemdruck besser als 5 x 10-9 mbar,
wurde das Testexemplar bei 120 °C 48 Stunden lang gebacken. Anschließend wurde gewartet, bis das System auf Raumtemperatur
heruntergekühlt war, bevor ein letztes Massenspektrum und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurden. Diese abschließenden
RGA-Aufzeichnungen sind nachfolgend dargestellt.
HINWEIS: Eine exakte Wiederholung dieser Ergebnisse ist unwahrscheinlich, da die RGA-Daten von vielen Faktoren, einschließlich den Umgebungsfaktoren und den Ausgangsbedingungen in der Kammer, abhängen. Diese Daten sind jedoch repräsentativ für die Funktion im Vakuum.
RESOLUTE Abtastkopf mit einem 1,0 m Kabel nach Ausbackung (Gesamtdruck = 8 x 10-10 mbar)
Partialdruck/mbar
,
,
,
,
,
Masse/AMU
RSLA linearer Maßstab (180 mm Länge) mit 2 Klammern und 1 Klemme nach Ausbackung (Gesamtdruck = 3,0 x 10-10 mbar)
Partialdruck/mbar
,
,
,
,
,
Masse/AMU
RTLA-S lineares Maßband (300 mm Länge) nach Ausbackung (Gesamtdruck = 1,69 x 10-10 mbar)
Partialdruck/mbar
,
,
,
,
,
Masse/AMU
RESA (Ø115 mm) nach Ausbackung (Gesamtdruck = 7,76 x 10-10 mbar)
Partialdruck/mbar
,
,
,
,
,
Masse/AMU
0,8 ±1
8,6
0,05
3
optische Mittellinie
,7
Ø2
12
18
36
14
Empfohlene Einschraubtiefe min. 5 mm (8 mm inkl. Senkung) Empfohlenes Anzugsmoment 0,5 bis 1,0 Nm.
=
5,5 min
0,31
(Gierwinkel ±0,5°)
>R10 statischer Biegeradius
1,7 (Montage durch Kleben
1,5 (Montage mit Klemmung)
(Rollwinkel ±0,5°)­
Optische Mittellinie des
Abtastkopfes und
des Ringes
*Größe der alternativen Montagefläche
18
6,4
16,5
Optische Mittellinie des
Abtastkopfes und
des Ringes
14,9 ±0,2
10 typ*
6
Abstand
0,8 ±0,15
0,31
(Nickwinkel ±0,5°)
6 typ*
2 x M3, angesenkt auf Ø3,
=
3 tief
Einstell-LED
Datenblatt
RESOLUTE UHV absolutes optisches Mess-System
Alle Abmessungen und Toleranzen in mm
Weitere Informationen erhalten Sie in den Installationshandbüchern zu RESOLUTE Weg- und Winkelmess-Systemen
UHV Installationszeichnung (auf RSLA/RELA Maßband)
Datenblatt
RESOLUTE UHV absolutes optisches Mess-System
Winkelmess-System – Nomenklatur
Wegmess-System – Nomenklatur
RA 26B VA 052B 30 V
RL 32B VS 001C 30 V
Modell
R = RESOLUTE
Modell
R = RESOLUTE
Maßband
A = Winkelmess-System
Maßband
L = Linear
Protokoll
18B = BiSS 18-Bit
26B = BiSS 26-Bit
32B = BiSS 32-Bit
23F = FANUC High Typ A (23-Bit)
27F = FANUC High Typ B (27-Bit)
23M = Mitsubishi 23-Bit, 2-Draht*
23N = Mitsubishi 23-Bit, 4-Draht*
27N = Mitsubishi 27-Bit, 4-Draht*
Protokoll
26B = BiSS 26-Bit
32B = BiSS 32-Bit
36B = BiSS 36-Bit
37F = FANUC 37-Bit
40M = Mitsubishi 40 -Bit, 2-Draht*
40N = Mitsubishi 40-Bit, 4-Draht*
48P = Panasonic 48-Bit
Mechanische Option
Mechanische Option
A = Standard IP64
E = Erweiterter Temperaturbereich
V = Vakuum
Option Signalstärke
A = Standard
Ringdurchmesser
052 = 52 mm Ring
057
075
100
103
104
115
150
300
183 (nur REXA)350
200413
206417
209489
229550
255
Option Maßstabscode
B = Standard-Maßstabscode
Kabellänge
10 = 1,0 m
15 = 1,5 m
20 = 2 m
30 = 3,0 m
50 = 5,0 m
90 = 9,0 m (nur Lemo)
99 = 10,0 m
Steckverbindung
A = 9-pol. SUB-D Stecker
F = ohne Stecker
H = FANUC Stecker
L = Lemo-Zwischenstecker
N = 15-poliger Sub-D-Stecker für Mitsubishi
V = Vakuum ohne Stecker
A = Standard IP64
V = Vakuum
Option Signalstärke
T = RTLA/RTLA-S
S = RSLA
E = RELA
Auflösung
001 = 1 nm
005 = 5 nm (nur BiSS-C)
050 = 50 nm
100 = 100 nm (nur Panasonic)
Option Maßstabscode
B = RTLA/RTLA-S
C = RSLA
D = RELA
Kabellänge
10 = 1,0 m
15 = 1,5 m
20 = 2 m
30 = 3,0 m
50 = 5,0 m
90 = 9,0 m (nur Lemo)
99 = 10,0 m
Steckverbindung
A = 9-pol. SUB-D Stecker
F = ohne Stecker
H = FANUC Stecker
L = Lemo-Zwischenstecker
N = 15-poliger Sub-D-Stecker für Mitsubishi
V = Vakuum ohne Stecker
Ausgegraute Optionen sind bei dieser Variante nicht verfügbar.
*2-adrig: MR-J4 System 4-adrig: MDS-D System
Renishaw GmbH
T +49 (0)7127 981-0
F +49 (0)7127 88237
E germany@renishaw.com
Karl-Benz-Straße 12
72124 Pliezhausen
Deutschland
Mit
www.renishaw.de
kompatible Produkte:
Standard RESOLUTE
BiSS Datenblatt
RESA
Installationshandbuch
FANUC Datenblatt
Datenblatt
Mitsubishi Datenblatt
Panasonic Datenblatt
Siemens DRIVE-CLiQ Datenblatt
REXA
Installationshandbuch
Datenblatt
RELA
Installationshandbuch
Datenblatt
RSLA
ETR
Datenblatt
Installationshandbuch
Datenblatt
RTLA-S
Installationshandbuch
Datenblatt
FASTRACK/ RTLA
Installationshandbuch
Datenblatt
Weltweite Kontaktinformationen finden Sie unter www.renishaw.de/renishaw-weltweit
RRENISHAW IST UM DIE RICHTIGKEIT UND AKTUALITÄT DIESES DOKUMENTS BEMÜHT, ÜBERNIMMT JEDOCH KEINERLEI
ZUSICHERUNG BEZÜGLICH DES INHALTS. EINE HAFTUNG ODER GARANTIE FÜR DIE AKTUALITÄT, RICHTIGKEIT UND
VOLLSTÄNDIGKEIT DER ZUR VERFÜGUNG GESTELLTEN INFORMATIONEN IST FOLGLICH AUSGESCHLOSSEN.
RENISHAW® und das Messtaster-Symbol, wie sie im RENISHAW-Logo verwendet werden, sind eingetragene Marken
von Renishaw plc im Vereinigten Königreich und anderen Ländern.
apply innovation sowie Namen und Produktbezeichnungen von anderen Renishaw Produkten sind Schutzmarken
von Renishaw plc und deren Niederlassungen.
DRIVE-CLiQ ­ist eine eingetragene Handelsmarke von Siemens. BiSS® i­st eine eingetragene Handelsmarke von iC-Haus GmbH.
© 2010-2013 Renishaw plc
Alle Rechte vorbehalten
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*L-9517-9531-01*
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