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Kathodolumineszenz-Mikroskop
HC5-LM
Bedienungs- und Wartungsanleitung
Oktober 2009
No 1019
lumic
www.lumic.de
lumioc - special microscopes Dr. Maria Simon-Neuser- Plasshofstrasse 11, 44795 Bochum, Germany
HC5 LM
Bedienungsanleitung
-1
Inhalt:
Einleitung .................................................................................................................2
A Inbetriebnahme der Apparatur ............................................................................3
B Probenwechsel ...................................................................................................5
C Justierung des Elektronenstrahls .......................................................................6
D Wechsel des Filaments ......................................................................................7
E Abschalten ..........................................................................................................9
F Wartung und Pflege ............................................................................................9
G Hinweise zur CL-Fotografie ..............................................................................10
H Verbrauchsmaterial und Bezugsquellen ...........................................................11
Kathodolumineszenz-Mikroskop HC5-LM
Fig. 1
HC4-LM
Zwischentubus
Basismikroskop
Analysator
Probenkammer
Ablenkspulen
Vorkammer mit Flanschen
10
zur Turbopumpe
Fokussierspule
5 [cm]
Polarisator
0
Elektronenquelle
LED Lampenhaus
Erdungskabel
Irrtum und Änderungen in dieser Bedienungsanleitung sind vorbehalten.
#1019
HC5 LM
Bedienungsanleitung
-2
Einleitung
Das Kathodolumineszenzmikroskop HC5-LM gestattet es, die Oberfläche eines polierten Gesteinsdünnschliffs durch Elektronenbeschuss zum Leuchten ("Lumineszieren") anzuregen. Diese Lumineszenz ist abhängig von den Materialeigenschaften
(Chemismus, Kristallbau, Gitterfehler u.a.) der angeregten Oberfläche. Um eine Aufladung der Oberfläche zu vermeiden, müssen die Proben mit einer leitfähigen
Schicht versehen sein. Dies kann entweder durch Sputtern mit Gold oder durch Aufdampfen von Kohlenstoff erfolgen.
Bei diesem Mikroskop wird die lumineszierende Oberfläche durch den Objektträger
und die gesamte Probendicke hindurch betrachtet. Daher kann, insbesondere bei
feinkörnigen Proben, die optische Qualität durch eine geringere Schliffdicke (< 25
µm) verbessert werden. Beidseitiges Polieren des Schliffs (d.h. auch die Klebefläche
wird vor dem Aufkleben poliert) führt zusätzlich zu erheblichen Steigerungen in der
Abbildungsqualität.
Da die Apparatur mit zum Teil lebensgefährlichen Hochspannungen arbeitet,
sollte die Bedienung nur durch eingearbeitete Personen mit äußerster Sorgfalt
erfolgen. Die Wartung und Pflege der Apparatur sollte ebenfalls sehr gewissenhaft durchgeführt werden.
Diese Anleitung enthält folgende Abbildungen:
Abb. 1: Kathodolumineszenz-Basismikroskop ..................................................1
Abb. 2: Vakuumpumpsystem ............................................................................3
Abb. 3: Zentrale Stromversorgung mit den Einschüben: ..................................4
(3.1) Vakuum-Schaltgerät und Spulen-Netzteile (oberer Einschub)
(3.2) Stromversorgung für die Elektronenquelle (mittlerer Einschub)
(3.3) Hochspannungs-Netzgerät (unterer Einschub)
Abb. 4: Innenansicht der Probenkammer .........................................................5
Abb. 5: Innenansicht der Elektronenquelle .......................................................7
Abb. 6: Filamentwechsel ...................................................................................8
Die Abbildungen 2 und 3 dieser Anleitung enthalten zur eindeutigen Identifizierung
eine numerische Kennzeichnung der Bedienelemente und Messinstrumente (z.B.
3.1a für den Hauptnetzschalter), auf die im Text Bezug genommen wird.
Hinweis:
Die Probe wird mit den Messingknöpfen an der Probenkammerrückseite bewegt. Der
Dünnschliff kann im Durchlicht, bei gekreuzten Polarisatoren und mit KL betrachtet
und aufgenommen werden. Bei KL-Betrachtung und speziell bei der Bildaufnahme
muß der Analysator unbedingt aus dem Strahlengang entfernt werden (nimmt viel
Licht).
Die Stromversorgung für das Lampenhaus hat einen Kippschalter für schnelles AnAusschalten. Dies ermöglicht den raschen Wechsel zwischen KL- und Durchlichtbetrachtung. Bei sehr heller KL kann es für ungestörte Durchlichtansicht bzw. -fotografie
nötig sein, die KL auszuschalten. Dazu kann dann schnell die Hochspannung mit
dem Schalter 3.3a am Hochspannungsnetzteil ausgeschaltet, und danach zur KL
schnell wieder eingeschaltet werden.
HC5 LM
Bedienungsanleitung
-3
A
Inbetriebnahme der Apparatur
A1
Externe Steckdosenleiste einschalten (Schalter leuchtet auf).
WARNUNG: Vor dem Einschalten der Steckdosenleiste unbedingt sicherstellen, dass die Masseverbindungen, vor allem die Leitung zwischen Mikroskopstativ und dem Massepunkt an der Stromversorgung der Elektronenquelle (3.2a) angeschlossen sind!
A2
Zum Einsetzen des Dünnschliffs das Mikroskop ganz hochdrehen und den Dekkel der Probenkammer vorsichtig abnehmen. (Nur bei Vakuum in der Kammer
sitzt der Deckel fest; in belüftetem Zustand liegt er lose auf.) Darauf achten,
dass das Bleiglasfenster nicht vor die Objektive schlägt. Verunreinigungen an
der Gummidichtung des Deckels vermeiden.
A3
Neue Probe mit der Objektseite nach unten einsetzen, wobei die Spannfedern
nicht überdehnt werden dürfen (s. Abb. 4). Probenkammerdeckel wieder auflegen.
A4
Prüfen, ob der Ein-/Ausschalter der Drehschieberpumpe DS 302 (2 b) eingeschaltet ist; dieser Schalter sollte immer eingeschaltet sein. Den Hauptschalter
(2a) des Hochvakuum-Pumpstandes einschalten. Die Drehschieber- und die
Turbopumpe laufen an und der Lüfter der Turbopumpe arbeitet.
Fig. 2
VARIAN
0
Turbo
primary
pumps
1
VARIAN
*
COUNTERS
MEASURES
LOW SPEED
START/STOP
*
1
0
*
VARIAN
DS 302
Turbo-V 301-AG
A5
Die Anzeige des Vakuummeßgeräts im Schaltschrank (3.1d) bewegt sich zu
kleineren Drücken und zeigt damit das Evakuieren der Anlage an. Die Maximaldrehzahl der Turbopumpe ist bei 58 Krpm erreicht (angezeigt im Digitalinstrument des Pumpstands).
Das Erreichen des Arbeitsvakuums in der Probenkammer (ab ca. 5x10-4 mBar)
wird durch das Umschalten der Farbe der Zahl "1" im Vak.-Meßgerät (3.1d) von
rot nach grün angezeigt (Die Einstellungen der Vakuumanzeige sollten nicht
verändert werden). Jetzt kann die Hochspannung eingeschaltet werden.
Hinweis: Wenn die Anlage länger nicht im Betrieb war, sollte sie vor dem Einschalten der Hochspannung min. 30 Minuten evakuiert werden (verbessert die
Qualität des Vakuums).
HC5 LM
A6
Bedienungsanleitung
-4
Hauptschalter (3.1a) im oberen Einschub (HC5LM-SG) einschalten: der Schalter leuchtet rot auf.
Fig. 3
Power Supply Rack HC5-LM
HC5-LM/SG
3.1a
V
V
0
5,0
-4
1
mbar
3.1
925 micropirani
Vac. only
1
Mains
Deflection
Focus
Beam
3.1b
3.1c
3.1d
3.2e
HC5-LM/EQN
A
3.2a
Filament On
+
Filament
Wehnelt
3.2c
3.2d
3.2
Filament current
3.2b
Never operate without connected groundcable !
Heinzinger
HV Input
LNC 20000-3neg
On / Off
!
3.3b
On / Off
mA
Current
3.3a
KV
3.3e
Voltage
3.3
HV
HV/Output
max. 14 kV
3.3c
3.3d
#1019
A7
Der Kippschalter für digitale Steuerung (3.3) muss immer auf Position "Int." stehen (festgestellt). (Weitere Informationen siehe HEINZINGER Begleitheft).
Bei einen Vakuum von ca. 5x10-4 mBar (die Zahl „1" am Vakuummessgerät
leuchtet grün) werden die Kathoden-Stromversorgung (3.2) und das Hochspannungs-Netzgerät (3.3) automatisch freigeschaltet. Die LED "Power" (at 3.3a) im
"Heinzinger" Hochspannungs-Netzgerät (3.3) leuchtet orange.
Hochspannung einschalten: Drücken der Taste 3.3a (die LED "Power" wechselt
ihre Farbe zu grün), danach den Schalter für die Hochspannung "HV On/Off"
(3.3e) betätigen (rote LED leuchtet). Jetzt liegt an der Kathode Hochspannung
an (max. 14 kV! Potentiometer 3.3d).
A8
Filamentstrom einstellen. Zu Beginn sollte der Regler für die Wehneltspannung
3.2d bei einem Wert von etwa 200 stehen. (Die Feineinstellung erfolgt später; s.
Kap. C2) .
Filamentnetzteil mit dem Schalter (3.2e) einschalten. Die Probe durchs Mikroskop betrachten (Übersichtsobjektiv 5x) und dabei den Regler (3.2c) langsam bis
HC5 LM
Bedienungsanleitung
-5
zu der gewünschten Lumineszenzintensität nach rechts drehen; das linke
Messinstrument des Hochspannungs-Netzgeräts (3.3c) sollte dann einen
Strahlstrom von etwa 0,2 mA anzeigen. Abhängig von der Probe kann ein kleinerer oder größerer Wert für den Strahlstrom nötig sein. (Die voreingestellte Obergrenze von 0,45 mA sollte aber nicht überschritten werden, um das Filament
zu schonen) Das Messinstrument für den Filamentstrom (3.2b) sollte dann einen Wert zwischen <1,6 und 2,7 A anzeigen (mit zunehmender Betriebszeit des
Filaments nimmt dieser Wert ab).
Bei zu hohen Strahlströmen kann die Probe zu stark erhitzt werden und der
Dünnschliff zerbrechen.
A9
Falls das vom Elektronenstrahl ausgeleuchtete Feld schlecht zentriert ist und
Inhomogenitäten aufweist, muss der Elektronenstrahl noch justiert werden (s.
Abschnitt C).
___________________________________________________________________
B
Probenwechsel
B1
Kathodenstrahl abschalten. Dazu erst die Hochspannung ausschalten: runde,
rot leuchtende Taste HV Ein/Aus (3.3e) drücken. Beleuchtung der Taste erlischt.
Danach den Filamentstrom herunterregeln: Potentiometer (3.2c) an der Kathoden-Stromversorgung ganz nach links drehen und Filamentnetzteil mit dem
Schalter (3.2e) ausschalten.
B2
Vakuumanlage ausstellen (2a). Die Turbomolekularpumpe verliert an Drehzahl
und bleibt nach ca. 1 Minute stehen. Nach ca. 1,5 - 2 Minuten ist die Anlage belüftet.
B3
Mikroskoptubus ganz hochdrehen und Deckel der Probenkammer vorsichtig
hin- und herdrehen. Falls der Deckel noch fest sitzt, noch etwas warten. Wenn
der Deckel locker aufliegt, kann er abgenommen werden. Darauf achten, dass
das Bleiglasfenster nicht vor die Objektive schlägt und die Gummidichtung des
Deckels nicht verschmutzt wird.
B4
Dünnschliff vorsichtig dem Probenschlitten entnehmen. Neue Probe mit der Objektseite nach unten einsetzen. Dabei die Spannfedern nicht überdehnen. Probenkammerdeckel wieder aufsetzen.
Fig. 4
Sample Chamber
Sample holder
holder with
with
Sample
holder stage
stage below
below
holder
Aperture
Span-springs
B5
Die Vakuumanlage starten und fortfahren wie in Punkt A5 - A9 beschrieben.
HC5 LM
Bedienungsanleitung
-6
___________________________________________________________________
C
Justierung des Elektronenstrahls
Der Strahlstrom ist zwischen 0,1 und 0,4 mA (Messgerät 3.3c im Hochspannungs-Netzgerät) richtig eingestellt. Er kann durch Verändern des Filamentstroms, d.h. durch Ändern der Filamenttemperatur, am Potentiometer 3.2c verändert werden.
Bei zu hohen Strahlströmen besteht die Gefahr, dass der Dünnschliff zu heiß
wird und zerbricht. Daher ist eine Begrenzung des Strahlstroms bei 0,45 mA
voreingestellt. (Durch Drücken der Taste "Preset" (3.3b) links vom Display ist
der Wert dieser Voreinstellung abzurufen.)
Das Ansprechen der Strombegrenzung ist daran erkennbar, dass am Hoch–
spannungs-Netztgerät das gelbe Lämpchen der Strombegrenzung (3.3c) gerade aufleuchtet. Im Normalbetrieb darf die Strombegrenzung nicht ansprechen, da dann die Beschleunigungsspannung nicht mehr ihren Sollwert
erreicht.
Die Hochspannung ist auf 14 kV voreingestellt und sollte im Normalbetrieb nicht
verstellt werden. Falls jedoch temporär eine andere (nur niedrigere!) Beschleunigungsspannung erforderlich ist, kann sie mit Hilfe des Spannungsreglers
(3.3d) am Hochspannungs-Netzgerät eingestellt werden.
Die Hochspannung für den Normalbetrieb beträgt max. 14 kV. Höhere Beschleunigungsspannungen dürfen nicht benutzt werden, da dies für KLApparatur schädlich ist und auch keinen erkennbaren Vorteil bei den Lumineszenzuntersuchungen bringt. Bei schlechtem Vakuum sind dann
auch Überschläge in der Elektronenquelle möglich.
C1
Zur Optimierung des Leuchtflecks auf der Probenoberfläche sollten folgende
Einstellungen durchgeführt werden (dabei immer sowohl die Probe als auch die
Messgeräte beobachten):
Bewegung des Leuchtflecks nach links/rechts:
Der Elektronenstrahl kann durch Verändern der Spannung an den beiden Ablenkspulen (Abb. 1) nach links und rechts bewegt werden. Diese Spannung wird
durch Drehen des Reglers (3.1b) des Ablenkspulen-Netzteils verändert, und
liegt normalerweise bei ca. 8 V.
C2
Homogenisierung des Elektronenstrahls:
Durch Verändern der Wehneltspannung kann eine Homogenisierung des Elektronenstrahls erreicht werden. Die Wehneltspannung kann durch Drehen des
Reglers (3.2d) der Kathoden-Stromversorgung (EQN) eingestellt werden.
(Grundeinstellung bei ca. 200 auf der Skala des Reglers.)
Den Knopf 3.2d drehen bis der Strahl bei maximaler Intensität homogen erscheint. Die Skala des Reglers sollten dann Werte zwischen 200 und 400 zeigen.
Mit zunehmender Brenndauer des Filaments und nach jedem Filamentwechsel müssen diese Einstellungen angepasst werden.
HC5 LM
C3
Bedienungsanleitung
-7
Fokussierung des Elektronenstrahls:
Eine Bündelung des Elektronenstrahls wird durch Verändern der Spannung an
der Fokussierspule erreicht. Der Standardwert liegt bei ca. 12-15 V und wird
durch Drehen des Reglers (3.1c) des Fokussierspulen-Netzteils eingestellt.
Hier ist Vorsicht geboten, da es bei einer zu starken Bündelung zu einer
punktuellen Erhitzung der Probe kommen kann, die u.U. zur Zerstörung
der Probe und danach im schlimmsten Fall zum Bersten des Vakuumfensters im Probenkammerdeckel führen kann.
___________________________________________________________________
D
Wechsel des Filaments
Das Filament (Glühkathode) ist ein Verschleißteil, das - je nach Qualität des
Vakuums und Sauberkeit der Proben - nach ca. 10 - 30 Std. Betriebszeit
durchbrennt und ausgewechselt werden muss. Ein zerstörtes Filament ist neben fehlender Lumineszenz daran zu erkennen, dass die Anzeige des Messgeräts für den Filamentstrom (3.2b) auf 0 A abgefallen ist (zum inneren Aufbau der
Elektronenquelle siehe auch Abb. 2) Die zum Filamentwechsel benötigten
Werkzeuge sind: Innensechskantschrauber 1,5 mm, Pinzette, fusselfreie
Baumwollhandschuhe (alles in der kleinen Zubehörbox).
D1
Kathodenstrahl abschalten. Dazu erst die Hochspannung abschalten: HV On/
Off (3.3e) drücken, die rote HV LED erlischt. Danach den Filamentstrom herunterregeln: Potentiometer (3.2c) an der Kathoden-Stromversorgung ganz nach
links drehen.
Aus Sicherheitsgründen unbedingt Haupt-Netzschalter (3.1a) im Einschub
Schalt- und Netzgeräte ausschalten: die Schalterbeleuchtung erlischt.
D2
Vakuumpumpen ausstellen (2a) und warten bis nach ca. 2 Minuten die Anlage
belüftet ist.
Fig. 5
Electron Gun
bayonet joint
internal thread
external view
to microscope
filament
anode
wehnelt cylinder
adjusting ring
cross
section
filament socket
HC5 LM
D3
Bedienungsanleitung
-8
Den oberen Teil der Elektronenquelle festhalten und den unteren Teil durch kurze Drehung nach links aus dem Bajonettverschluss lösen (Abb. 5). Dann unteren Teil nach unten aus dem Gehäuse herausziehen; dabei darauf achten, dass
der Wehnelt-Zylinder nicht vor den oberen Teil schlägt. Bei Filamentwechsel
unmittelbar nach Betrieb der KL, die heiße Elekronenquelle erst abkühlen lassen.
Hinweis:
Die inneren Teile der Elektronenquelle dürfen nicht mit bloßen Fingern berührt werden. Zur Montage sind die beigelegten fusselfreien Baumwollhandschuhe anzuziehen. Verschmutzungen führen zu einer Verschlechterung des Vakuums und fördern somit den Verschleiß der Filamente.
D4
Den Wehnelt-Zylinder abschrauben (gegen den Uhrzeigersinn), dabei den Justierring (Abb. 6a) in seiner Position festhalten.
a
Fig. 6
b
c
D5
Defektes Filament mit einer Pinzette aus dem Sockel ziehen. Das neue Filament vorsichtig mit einer Pinzette in den Sockel einsetzen. Das Filament muss
fest im Sockel sitzen und flach auf dem Teflonblock aufliegen (Abb. 6b).
D6
Wehnelt-Zylinder vorsichtig wieder aufschrauben (im Uhrzeigersinn) bis er sanft
den Justierring berührt. Der Justierring sollte nicht bewegt werden.
Der Wehnelt ist richtig positioniert, wenn die Spitze des Filaments aus einen
Betrachter–Winkel von 45〫gerade sichtbar ist (Abb. 6c).
Anzeichen dafür, dass es nötig ist die Höhe des Wehnelt zu rejustieren sind
- fehlende Einstellbarkeit der Wehneltspannung beim Drehen des Reglers
(3.2d) oder
- schwache KL mit niedrigem Strahlstrom.
Schwache KL und niedriger Strahlstrom zeigen eine zu hohe Position des
Wehnelt an. Fehlende Regelbarkeit resultiert aus zu einem zu hoch in die Öffnung des Wehnelt hineinragenden Filament, d.h. zu niedrig positioniertem
Wehnelt-Zylinder.
Zu Korrektur der Höhe des Wehnelt muß der Justiering in die entsprechende
Richtung gedreht werden, bis wieder ein lockerer Kontakt zur Basis des Wehnelt besteht.
HC5 LM
Bedienungsanleitung
-9
D7
Um einen möglichst homogenen Elektronenstrahl zu erhalten, ist es wichtig darauf zu achten, dass die Spitze des Filaments dabei im Zentrum der
Wehneltblendenöffnung zu liegen kommt. Wenn die Filamentspitze (trotz der
werksseitigen Vorzentrierung) stark von der Mittelposition abweicht, kann es
hilfreich sein, das Filament um 180〫gedreht einzusetzen.
D8
Elektronenquelle wieder in das Gehäuse einschieben und den Bajonettverschluss schließen.
D9
Apparatur entsprechend Anleitung Punkt A4 bis A9 evakuieren und in Betrieb
nehmen. Vor Einschalten des Elektronenstrahls mindestens 15 Minuten warten.
___________________________________________________________________
E
Abschalten
E1
Entsprechend Abschnitt zum Probenwechsel (Punkt B1 bis B4) Probe entnehmen und Probenkammer schließen.
Anlage evakuieren (Schalter 2a an der Vakuumanlage). Wenn die KL täglich
genutzt wird, sollte sie permanent, auch über die Wochenenden, evakuiert sein.
Die Pumpen sind auf Dauerbetrieb ausgelegt.
Nur wenn die Anlage über längere Zeit nicht betrieben wird, können die Pumpen dauerhaft ausgestellt werden.
E2
Hauptschalter (3.1a) an der Kathoden-Stromversorgung ausschalten. Schalterbeleuchtung erlischt.
E3
Steckdosenleiste ausschalten.
___________________________________________________________________
F
Wartung und Pflege
Reinigung der Vakuumteile:
Die inneren Teile des Mikroskops, die unter Hochvakuum betrieben werden (Probenkammer, Elektronenquelle, usw.), dürfen nicht mit bloßen Fingern berührt werden.
Zur Montage sind die mitgelieferten fusselfreien Baumwollhandschuhe anzuziehen.
Verschmutzungen an den Innenflächen führen zu einer Kontamination des gesamten
Vakuumsystems und somit zur Verschlechterung des Vakuums, wodurch nicht zuletzt
der Verschleiß der Filamente stark gefördert wird.
Der Wehnelt-Zylinder in der Elektronenquelle (s. Abb. 5) sollte etwa nach jedem
zehnten Filamentwechsel mit einer Chrompolitur (WENOL o.ä.) gereinigt werden, bis
er wieder innen und außen glänzt. Die Demontage erfolgt entsprechend der Anleitung zum Filamentwechsel im Abschnitt D. Als Hilfswerkzeuge zur Reinigung dienen
Wattestäbchen, Holzstäbchen und Tücher. Es dürfen keinesfalls kratzende oder
schleifende Werkzeuge wie z.B. Schraubenzieher oder Messer benutzt werden.
Nach der Reinigung muss das Teil ca. 10 Minuten lang im Ultraschallbad mit Aceton
gereinigt werden, um die Fett- und Wachsreste zu entfernen. Die Ultraschallreinigung
sollte noch einmal mit frischem Aceton wiederholt werden.
HC5 LM
Bedienungsanleitung
- 10
Die Gummidichtung im Probenkammerdeckel gelegentlich reinigen und mit Vakuumfett dünn bestreichen. Das Bleiglasfenster im Probenkammerdeckel kann bei Bedarf
mit einem weichen, acetongetränkten Papiertuch von seinem Belag befreit werden.
Auch hier keine schabenden Werkzeuge benutzen, da Bleiglas wesentlich weicher ist
als normales Glas.
Nach längerer Betriebszeit sollte der Belag auf den Messingteilen des Probeschlittens und der Blende (s. Abb. 4) entfernt werden. Dazu kann der Probenhalter nach
oben abgenommen und 10 Minuten lang im Ultraschallbad mit Aceton gereinigt werden. Die unteren Führungen des Probenschlittens werden nicht demontiert und nur
mit Hilfe eines acetongetränkten Wattestäbchens gereinigt. Danach müssen die Führungen dünn mit Vakuumfett bestrichen werden.
Falls nach sehr langer Betriebszeit die in den Boden der Probenkammer eingeschraubte Messingblende so stark verschmutzt sein sollte, dass eine gründliche Reinigung erforderlich wird, kann sie mit dem mitgelieferten Werkzeug herausgeschraubt werden. Dazu muss dann auch der untere Schlitten ausgebaut werden:
Zuerst den Gewindestab aus dem unteren Schlitten herausdrehen (Schlitten wird dabei nach links bewegt). Der Schlitten kann jetzt herausgenommen werden. Danach
den Klemmring des Gewindestabs und die Rändelschraube lösen und den Gewindestab etwas nach außen schieben, bis die Blende nach oben herausgeschraubt werden kann.
Wartung der Vakuumanlage:
Die Drehschieberpumpe muss immer ihre vorschriftsmäßige Ölfüllung haben und es
muss turnusmäßig ein Ölwechsel durchgeführt werden. Nähere Angaben zur Wartung des Hochvakuum-Pumpstandes sind den Anleitungen des Herstellers (Varian)
zu entnehmen.
Sollte der Pumpstand nicht mehr sein Endvakuum erreichen, so liegt evtl. ein Leck in
der Anlage vor. Überprüfen Sie vor allem die Dichtungen der Probenkammer und der
Elektronenquelle. Schon kleinste, unsichtbare Verunreinigungen oder Beschädigungen der Dichtungen können die Qualität des Vakuums stark beeinträchtigen.
___________________________________________________________________
G
Hinweise zur CL-Fotografie
Für das Arbeiten mit der Kappa CCD-Kamera muss, nach Entfernung des monokularen Beobachtungs-Tubus, die CCD-Kamera mit dem C-Mount Adapter montiert werden.
PC einschalten und ca 1 Minute abwarten bis der Rechner intern die IP-Adresse zugewiesen hat. Die Kappa-Kamera-Software (KCC) vom PC-Desktop starten und entsprechend den Anweisungen der Kappa Bedienungsanleitung fortfahren.
Der Weißabgleich ist im Durchlicht vorzunehmen; die Farbtemperatur der Lampenhaus-LED entspricht auch weitgehend der von KL-Farben.
HC5 LM
H
Bedienungsanleitung
- 11
Verbrauchsmaterial und Bezugsquellen
Filamente für CAMBRIDGE/LEICA, Nr. A 054
sowie
Baumwollhandschuhe, Pinzetten u.a. Zubehör zu bestellen bei:
PLANO W Plannet
Ernst-Befort-Str. 12
35578 Wetzlar
Germany
Vakuum System:
Drehschieberpumpe:
Tel. :+49 (0) 6441 97650
Fax: +49 (0) 6441 976565
eMail: plano@plano-em.de
Rotary vane fluid, GP type (1l),
No. 9499390
Oil mist eliminator DS No. 9499395
Oil filter replacement cartridge
No. 9499394
Bestelladresse für Vakuumkomponenten und Support
Varian, Inc.
via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino), Italy
Tel.: +39 011 997 9 111
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Fax: +39 011 997 9 350
Hours: 08:00 to 18:00 Central European time
vtt.customer.service@varianinc.com
vtt.technical.support@varianinc.com
Vakuummessröhre und -schaltgerät
MKS Denmark ApS
Ndr. Strandvej 119G
DK3150 Hellebaek
Phone: +45 44 92 92 99
mksdenmark@mksinst.com
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